■ 差分式光电传感器检测马达转子的位置，线性度好、漂移量小、分辨率和重复定位精度高。
■ 对20mm镜片进行负载设计，电机装配精度高、结构合理、静摩擦系数和零位偏移量小，确保系统良好的动态特性。
■ 采用水冷结构，有效控制振镜工作温度。
■ 驱动器具有位置和速度超前检测功能，大大提升整个系统的动态响应性能和扫描速度。
■ 设计有过载、过流和反接保护，使系统的运行更加可靠。
■ 整个系统采用电磁兼容优化设计，信噪比高、抗干扰能力强。
■ 解决了振镜电机温度漂移、信号干扰和零位漂移等常见问题。
速度 | |
标记速度 | 2000mm/s |
写入速度 | 124cps |
阶跃响应时间（全行程1%） | 708μs |
阶跃响应时间（全行程10%） | 1320μs |
跟踪误差 | ≤374μs |
精度及误差 | |
线性度 | 99.9% |
重复定位精度 | ＜8μRad |
增益误差 | ＜5mRad |
零点偏移（批量原点误差） | ＜5mRad |
长时间漂移（连续工作8小时） | ＜0.5mRad |
比例漂移 | ＜40PPM/℃ |
零点漂移 | ＜15μRad/℃ |
镜片损伤阈值 | |
K9基体 | 9.1J/cm^2 |
Si基体 | 10J/cm^2 |
镜片反射波长 | 10600nm / 1064nm / 355nm |
水冷控制 | |
水温 | 25±3℃ |
******水压 | ＜3bar |
流量 | >1L/min |
水管规格 | 外径φ6mm，内径φ4mm |
电源及信号 | |
输入电压 | ±24VDC |
额定电流 | 4A |
接口协议 | XY2-100 |
机械扫描角度 | ±11° |
工作电流、温度、尺寸 | |
工作温度 | 0℃~45℃ |
存储温度 | -10℃~60℃ |
激光输入孔径 | 20mm |
振镜尺寸（长×宽×高） | 170x141x130mm |
振镜重量 | ≈4.13Kg |
